第337章 美滋滋的配套單位

要求非常貼心的分為了兩級，實現過程也就分成了兩步。

第一步，是將波長355nm的激光束擴散為直徑160mm的平行光束。

第二步，是將這束擴散后的平行光束，將光路中的玻璃板上圖像重新縮微投影為一個20mm的光斑。要求縮微投影后，圖形變形不超過5微米，越小越好。

這個要求說簡單那不簡單，說麻煩嘛，好像也不是非常麻煩，正好卡在好像努力一下就能夠的著的程度。

對于搞技術的人來說，這種要求是最舒服的，既不會沒有挑戰性和成就感，又不會要求太高難以實現。

而且對方明確說了，分兩步實施，第一步做出來就先提交第一步，第一步盡量快，第二步可以慢慢做，但是質量一定要穩。

還能分步提交成果，這就更舒服了。

甚至對方還非常貼心的，送了一臺激光器過來，正是355nm激光光源。

這個不是紅寶石激光器，本來是高振東為激光測距準備的YAG（釔鋁石榴石）激光器，這東西功率比較容易做大，而且波長根據摻雜可調。

這正是高振東和1274廠集成電路工藝研究中的一部分，這個東西一看就知道，用于光刻機的光路系統。

把整個光路系統分成兩步，正是高振東的主意。

第一步，相對簡單一些，可以用于接觸式或者接近式光刻機，這兩個都是直接投影的，模版的分辨率多少，實際分辨率大約就是多少。

而第二步困難一些，等東北光學所慢慢搞就行，這是預想用于投影式光刻機的，搞個一年兩年三年的都不是什么問題，搞不出來，接近式光刻機也夠用了，搞出來了，那就純賺了。

與此同時，某化學研究所，搞有機材料的同志也接到了十二機部關于光敏材料的研究要求，研究要求明確指明了，光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交聯型中的一種，用于激光感光成像，工作光波長355nm。

十二機部還送來了一臺激光器，以及簡單的激光擴散配件，用作試驗過程中的光源。

說實話，研究所的同志，還是第一次看到要求這么明確，連技術路線都給說得明明白白的要求文件。

甚至光交聯型這種，他們也是看了要求文件里面的解釋才搞清楚是個怎么回事兒。

要是所有的需求方都像這一家這樣就好了，化學研究所的同志美滋滋的想，還能學東西！

其實這是高振東沒辦法，他不知道現在到底哪一種能搞成，總之65年這東西是有的，干脆把幾種常見的光刻膠的路線都給寫了上去，你做出來哪種算哪種，無非就是正膠負膠的區別，都能用。

一個技術剛興起的時候，自由度是最大的，不用考慮太細節的東西，而且配套技術不用考慮技術路線的差別帶來的性能差異，因為要求還沒高到那份上，大概就是能用就行，整出來就算本事。

像日后光刻技術那一大堆高級技術在這個年代都不用考慮，根本用不上，也沒條件用上。

搞個10微米100微米的光刻，就想著把浸潤光刻、多重曝光、EUV光源這些弄上來無疑是吃飽了撐著了。

且不說這些美滋滋的配套廠所，高振東自己，正在和廠里的一堆八級工研究工件臺的事情，雖然不搞多重曝光，但是套刻還是需要的，工件臺的定位精度還是要考慮。

套刻，就是把多個圖形分多次刻到同一工件上，形成一個完整的圖形。

如果只是刻一次，那倒不需要管套刻精度，只要保證光的投射范圍都在晶圓上以及光投影精度即可，可是在集成電路工藝里，是要分很多次光刻，來形成不同結構，而且這些結構之間又有電路連接，所以套刻精度還是要保證的。

至于雙工件臺，就先扔一邊了，一個工件臺還沒搞利索呢，想那么多是給自己找麻煩。

“高總，你這個東西的定位精度要半絲？”一群老八級工有點嘬牙。

1絲，從機加工的角度，等于10微米，半絲，5微米。

高振東點點頭：“嗯，先不考慮移動定位精度，就考慮兩個工件固定時定位的相對精度就可以。”

如果微縮投影還沒搞通的話，那移動定位精度就意義不大，因為不需要在晶圓上一個芯片一個芯片的刻，而是一次性投影出整個晶圓的圖像，這種情況下，哪怕套刻，主要考慮的也就是模版、晶圓固定時的相對位置精度了。

之所以一開始都是搞的接觸式或者接近式光刻機，這就是原因，技術簡單得多啊。

幾位老師傅，包括易中海在內，放下了大半的心，這個就好辦多了。

高振東把整個光刻機機械部分的要求發給他們，并給他們一一解釋，光刻機可不只前面那么一點東西，比如光刻膠的涂覆、無塵環境的生成等等

其實早期的光刻機，看起來像個化學實驗室的通風櫥柜似的，而且還帶顯微鏡，用于人工調整觀察，又像一個生物上用的玩意，反正就是不像個工業上用的機器，完全沒有后來看起來那么高大上。

聽了高振東的要求，所有的老師傅覺得這還是有門兒的，問題不大，領了任務就去工作了，這些老師傅，有的是三分廠的，有的是從其他車間臨時借來幫忙的，不管哪兒來的，反正這段時間都要在三分廠的研究場地里干活了。

至于其他部分工藝，都交給1274廠了，他們那邊條件成熟，好歹還是專業半導體廠嘛。

與此同時，保衛處長正在和劉海中談話，劉海中雖然也是老鍛工了，可是離八級還有距離，也夠不上摻合三分廠的特殊項目，至于生產，他不是三分廠的人就更說不上了。

保衛處長找他談話，是有好事情找他，至少在他看來是這樣。

“劉師傅，你是廠里的老同志，從你一貫表現來看，對于我們的保衛和安全工作，是非常上心、非常積極的”

保衛處張處長上來就先把劉海中猛夸了一通，聽得劉海中是無比的舒坦，心思禁不住有些活泛起來。

老劉我，這是要時來運轉了？領導終于看到我的努力了？愿意給我機會，給我加擔子了？

就在他浮想聯翩，美夢連連的時候，果然就聽到了天籟之音。

“.你的表現，廠里也都是看在眼里，記在心里的，所以，現在有個擔子，想看看你愿不愿意挑一挑？”

一通夸獎之后，張處長總算是說出這次叫他過來的原因了，把劉海中急得不行。

擔子？挑一挑？

說到這個，劉海中可就不困了，腦袋里如一聲炸雷響過，我就說嘛，我的努力和態度，總之是不會被領導們忽略的嘛。

他的文化，也想不出諸如“明珠蒙塵”、“懷才不遇”之類的話，總之就是想得挺樸實。

有擔子是吧，還沒聽是什么呢，劉海中已經忙不迭的點頭：“我愿意，我愿意，請組織和群眾考驗我。”

這種話他在收音機里聽了不少，順口就說出來了。

張處長皺了皺眉：“劉師傅，別急別急，你暫時還不是組織的人，用不著組織考驗。”

早就聽說這個劉海中有點想進步想昏了頭，如今看來果然有點兒不太正常。

“哦哦哦，那請廠里盡管給我壓擔子，我絕不皺眉。”擔子越重，不就意味著位置越高嘛。

不至于不至于，張處長心里想著，嘴里說著：“是這樣，我們廠的生產任務和生產的產品，是越來越重要了，為了生產工作的安全進行，廠里決定加大保衛巡邏的力度。這么一來，光靠我們保衛處和民兵隊的力量，就有點不夠了。廠里希望從老同志里面，挑選一批，新老結合，以老帶新，補充一下巡邏力量。不過先說好啊，這個事情是沒有額外的工資的，只是保留你原來的工資。”

這是要進保衛處了？劉海中心里憧憬起來。工資算什么？我還缺工資么？好歹也是高級技工了不是，不缺這點兒。

這年頭的保衛處，那權責范圍可不是一般的大，尤其是三軋廠這種大廠，威風著呢。

“根據劉師傅伱平時的表現，所以在這一次里是優先考慮的對象，保衛處希望你能作為巡邏組長，帶領兩位年輕同志，利用工作之余的時間，為廠里的保衛工作貢獻一下力量，劉師傅你看如何啊？當然，這個是全憑自愿，不會強求的，這種巡邏組，會成立一批，如果你不愿意也不會影響工作。”

劉海中一聽，陷入了兩難。

要干吧，合著這是個兼的，自己正經工作還得做。

要說不干吧，好歹是個組長，領著兩個人呢，沒準這就是自己官路的第一步？過了這個村，也許就沒有這個店了。

正當劉海中搖擺不定時，張處長在他心中的稻草上壓上了最后一匹駱駝。

四合院：我邊做科研邊吃瓜 第337章 美滋滋的配套單位