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第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機

更新時間:2021-04-09  作者:推土機FFX
大國芯工 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機
“岸然,這事我必須當面和你說清楚,這七套設備雖然都是1.5微米制造工藝,不過其中有四臺,和其他的有些區別。”

王岸然一下來了興致。

“有什么不一樣?”

“有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺……”

“張教授,你倒是說啊!”

張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說道:“岸然,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,現在看來,只是沒找到你感興趣的東西啊!”

王岸然白了張大京一眼,說道:“張教授,你再不說,我可要翻臉了啊!”

“好!好!”張大京搖搖頭,說道:“岸然,有四臺使用的是krf248納米準分子激光光源。”

額,王岸然感覺呼吸都有些急促,krf準分子激光光源有兩種波長,一種是248納米,另外一種就是193納米。

這跟高壓汞燈光源不一樣的是,高壓汞燈光源還屬于可見光,而krf準分子激光已經邁入紫外線的范疇。

雖然國內早已經開始了krf準分子激光的研究,而且取得了相應的成果,不過適用于光刻的248納米光源,要求的是百焦級別的高功率,以及粒子均勻性要在千分之零點三的范圍內。

門檻就在這里。

事實上,ibm早在1980年就將krf準分子激光光源用于半導體光刻,而十五年過后,對國內來說,還是一道深不可測的技術門檻。

沒想到,這玩意竟然被張大京搞來了……

王黯然忙問道:“張教授,我記得激光光源是瓦森納協議中禁止貿易的,你怎么……?”

“岸然,你錯了,瓦森納協議中限制出口的列表,今年沒有把248納米krf列入其中。

不過需要說明的是,這款激光器是不可以用作軍事用途的,所以,他們會派人監管,并定期檢查的。”

自己的消息還是滯后了啊!

王岸然搖搖頭,如果248納米光刻機解除禁運的話,國外已經在193納米光刻機的應用上有了長足的進步,甚至在深紫光上有了突破。

原因很簡單,瓦森納協議的核心就是n2政策,西方審批出口的依據就是,對華出口的設備必須是落后兩代。

而實際上,審批程序很復雜,等真拿到設備的時候,差不多已經是第三代的了,基本上比起國際主流的技術要落后10年左右。

這也沒辦法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙問道:“張教授,這條芯片生產線,可以……”

張大京打斷王岸然的話,說道:“岸然,這是我另外要說的一件事,248納米激光光源光刻機,可以經過改造,用于1微米制程的芯片生產,不過,涉及一系列復雜的光學曝光技術,這些專利是要折算成資金入股的!”

這個王岸然沒有意見,如果能改造成沉浸式光刻機,320納米制程都沒問題。

張大京拿出一份文件遞給王岸然。

“股權結構?”

張大京點點頭。

王岸然翻開一看,愣住了。

7億美金只占了35的股份,張大京團隊以技術入股,占15的股份,張大京自領5的干股,后面跟著一大串投資人。

王岸然還看到了老伙計高盛,還有新加坡投資集團,灣島國際等,這么多家,一共才出資3億美元,加部分專利授權,占股45。

“岸然,你是知道的,拉高盛進來,也是為我們的設備審批能夠快一點,畢竟高盛在公關上還是有一套的。”

王岸然倒不是為高盛入伙頭疼,他是為華芯科技出了資金的大頭,占的股份確只有三分之一多一點。

唯一讓王岸然有些安慰的,就是自己仍然是這家公司最大的股東。

因為前面已經承諾,自己的股份,投票權已經交給張大京,而張大京的團隊加上張大京自己的有20的股份。

加在一起就是55的股份,完全可以讓張大京在新公司說話能算數。

可華芯科技也太虧了吧!

“可誰讓自己沒有技術呢!活該被宰。”

王岸然搖搖頭,這個時候想跟人家玩,不出點見面禮肯定是不行的。

“岸然,還有一點我需要明確一下,一是員工股票池,這是需要各股東按比例出的,現在暫定的是3

另外就是,這家公司最終是要上市!”

王岸然點點頭,張大京拉了這么多的資本進來,而資本是追求利潤的,不上市,怎么把股份套現……

“張教授,關于專利入股的事,我需要我的團隊評估一下各個專利的價值,其他的,我這邊沒有問題。對了,張教授,廠房定了沒有?”

“還沒有,我們的人正在和港府協調,目前來看,還沒有找到合適的地皮。”

王岸然也沒說話,留著張大京去公關吧!

等他碰壁了之后,他會知道,在大陸建廠也是一個不錯的選擇。

就在王岸然和張大京糾纏不清的時候,官方內部圍繞著“是不是由華芯科技來主導光刻機的開發。”展開了激烈的討論。

為此官方特別邀請了一眾科學家院士和高科技國企老總參與座談。

劉承志也是在這里才知道,華芯科技竟然將觸角伸到光刻機領域,還打報告給發改委高科技司,這要讓你做成了,以后國內的it/ic行業,還有幻想科技的一席之地?

“我反對讓華芯科技主導光刻機研發,剛才的報告我也看了,華芯科技要求國家,在技術上對項目進行支持。

這是用國家的資源為他私人企業來謀利……”

倪廣南憋了一肚子的火,在這個場合下,他也不好拍桌子,耐著性子等到劉承志說完,才說道:“我是贊成的,至于為什么,我想大家都知道,研發光刻機的難度。

即便是舉國之力,也不一定研發出世界一流的光刻機,這明顯是燒錢的項目,只有蠢貨,才會想著從這里占國家的便宜!”

劉承志老臉一紅,投向倪廣南的目光有些怨恨。

“老不死的,你就是想著跟勞資作對是吧……”

接下來的發言大概支持和反對參半,或者反對多一些,畢竟很多人對華芯科技并不放心。

輪到蘇老時,他重重的將拐棍在地板上敲了兩下。

在這里,也就蘇老有這個譜,老魔童的威風可不是蓋的。

“我也聽出來了,大家剛才反對的理由無非是兩個,一個是害怕華芯科技占國家的便宜,而另外一個理由就是怕華芯科技干不好,怕他們承擔不起這個責任。”

“我先說說第一個理由吧,劉總,你也是科院出來的,你沒看到華芯科技在學術研究上,投入了多少個課題,有幾個課題是能夠盈利的。

在坐的或多或少都有參與吧,我記得有幾個數學、物理上的基礎課題研究,華芯科技是無償支援的,我倒想問問劉總,你們幻想科技資助了幾個課題,又在這方面投入了多少資金……”

劉承志傻眼了,怎么蘇老一上來,就把炮口對準他。

“蘇老,這不是一回事,而且幻想科技也給科院上繳了不少利潤嘛,這也是支持科研啊!”

“屁,那是應該的,科院是你們的大股東,你還想著不上繳利潤?”

劉承志被噎的一句話說不出,心里只盼著蘇老,您早點說完,早點結束,在這里,簡直活受罪。

蘇老懟了劉承志一頓,然后轉頭看向大家,繼續說道:“罷了,我再說一件事,你們聽了就知道,華芯科技會不會借這個項目斂財了。”

“蘇老您說!”

蘇青森站了起來,長呼一口氣,說道:“華芯科技把國家退稅的近八個億拿了出來,再加上價值五十個億的華芯科技股份,用這筆錢成立了一個科技獎的基金,在做的各位,都有可能成為這筆基金的收益人……”

“呼!”

“五十八億!”

“這是要干什么……”

蘇老瞄了一下全場,又繼續說道:“我可以負責任的擔保,華芯科技絕對不會從這個項目來斂財。”

燕京光學器材公司總經理卜向東搖搖頭,在他看來,讓自己這么一個大國企跟在一家私企后面混,面子上過不去。

見蘇老說完,忙跟著發言道:“可是蘇老,這也不能說明,華芯科技有這個能力,來擔負這么大的一個項目啊!”

“沒有這個能力?”蘇青森搖搖頭。

“我不知道什么叫有能力,華芯科技開發的eda軟件,應該有不少人在用吧。

他們開發的操作系統肯定也有人見過。

小型機服務器,還有那處于世界頂尖水平的顯卡,你們也應該用過。

更不用說就快要發布的cpu……”

臺下竊竊細語。

“沒想到華芯科技開發出這么多重量級的產品,幾乎沒一項都填補了國內的空白,還有cpu,他們開發了cpu了嗎?性能怎樣?”

“我只知道他們想開發cpu來著,難道他們的cpu出成品了?”

在場的有一大半并不知道這個事。

蘇青森看向劉承志,說道:“小劉,你說說吧,華芯科技的cpu,你最清楚了。”

所有人的目光投向劉承志,只見他站了起來,極不情愿的對眾人說道:“華芯科技確實生產出了cpu,而且性能,已經達到世界先進水平……”

“吁!”

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