第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機
更新時間:2021-04-09 作者:推土機FFX
大國芯工 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機
“岸然，這事我必須當面和你說清楚，這七套設備雖然都是1.5微米制造工藝，不過其中有四臺，和其他的有些區別。” 王岸然一下來了興致。 “有什么不一樣？” “有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源，而另外四臺……” “張教授，你倒是說啊！” 張大京嘴角帶著笑，指著王岸然說道：“岸然，我一直以為你比別的年輕人沉得住氣，現在看來，只是沒找到你感興趣的東西啊！” 王岸然白了張大京一眼，說道：“張教授，你再不說，我可要翻臉了啊！” “好！好！”張大京搖搖頭，說道：“岸然，有四臺使用的是krf248納米準分子激光光源。” 額，王岸然感覺呼吸都有些急促，krf準分子激光光源有兩種波長，一種是248納米，另外一種就是193納米。 這跟高壓汞燈光源不一樣的是，高壓汞燈光源還屬于可見光，而krf準分子激光已經邁入紫外線的范疇。 雖然國內早已經開始了krf準分子激光的研究，而且取得了相應的成果，不過適用于光刻的248納米光源，要求的是百焦級別的高功率，以及粒子均勻性要在千分之零點三的范圍內。 門檻就在這里。 事實上，ibm早在1980年就將krf準分子激光光源用于半導體光刻，而十五年過后，對國內來說，還是一道深不可測的技術門檻。 沒想到，這玩意竟然被張大京搞來了…… 王黯然忙問道：“張教授，我記得激光光源是瓦森納協議中禁止貿易的，你怎么……？” “岸然，你錯了，瓦森納協議中限制出口的列表，今年沒有把248納米krf列入其中。 不過需要說明的是，這款激光器是不可以用作軍事用途的，所以，他們會派人監管，并定期檢查的。” 自己的消息還是滯后了啊！ 王岸然搖搖頭，如果248納米光刻機解除禁運的話，國外已經在193納米光刻機的應用上有了長足的進步，甚至在深紫光上有了突破。 原因很簡單，瓦森納協議的核心就是n2政策，西方審批出口的依據就是，對華出口的設備必須是落后兩代。 而實際上，審批程序很復雜，等真拿到設備的時候，差不多已經是第三代的了，基本上比起國際主流的技術要落后10年左右。 這也沒辦法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙問道：“張教授，這條芯片生產線，可以……” 張大京打斷王岸然的話，說道：“岸然，這是我另外要說的一件事，248納米激光光源光刻機，可以經過改造，用于1微米制程的芯片生產，不過，涉及一系列復雜的光學曝光技術，這些專利是要折算成資金入股的！” 這個王岸然沒有意見，如果能改造成沉浸式光刻機，320納米制程都沒問題。 張大京拿出一份文件遞給王岸然。 “股權結構？” 張大京點點頭。 王岸然翻開一看，愣住了。 7億美金只占了35的股份，張大京團隊以技術入股，占15的股份，張大京自領5的干股，后面跟著一大串投資人。 王岸然還看到了老伙計高盛，還有新加坡投資集團，灣島國際等，這么多家，一共才出資3億美元，加部分專利授權，占股45。 “岸然，你是知道的，拉高盛進來，也是為我們的設備審批能夠快一點，畢竟高盛在公關上還是有一套的。” 王岸然倒不是為高盛入伙頭疼，他是為華芯科技出了資金的大頭，占的股份確只有三分之一多一點。 唯一讓王岸然有些安慰的，就是自己仍然是這家公司最大的股東。 因為前面已經承諾，自己的股份，投票權已經交給張大京，而張大京的團隊加上張大京自己的有20的股份。 加在一起就是55的股份，完全可以讓張大京在新公司說話能算數。 可華芯科技也太虧了吧！ “可誰讓自己沒有技術呢！活該被宰。” 王岸然搖搖頭，這個時候想跟人家玩，不出點見面禮肯定是不行的。 “岸然，還有一點我需要明確一下，一是員工股票池，這是需要各股東按比例出的，現在暫定的是3 另外就是，這家公司最終是要上市！” 王岸然點點頭，張大京拉了這么多的資本進來，而資本是追求利潤的，不上市，怎么把股份套現…… “張教授，關于專利入股的事，我需要我的團隊評估一下各個專利的價值，其他的，我這邊沒有問題。對了，張教授，廠房定了沒有？” “還沒有，我們的人正在和港府協調，目前來看，還沒有找到合適的地皮。” 王岸然也沒說話，留著張大京去公關吧！ 等他碰壁了之后，他會知道，在大陸建廠也是一個不錯的選擇。 就在王岸然和張大京糾纏不清的時候，官方內部圍繞著“是不是由華芯科技來主導光刻機的開發。”展開了激烈的討論。 為此官方特別邀請了一眾科學家院士和高科技國企老總參與座談。 劉承志也是在這里才知道，華芯科技竟然將觸角伸到光刻機領域，還打報告給發改委高科技司，這要讓你做成了，以后國內的it/ic行業，還有幻想科技的一席之地？ “我反對讓華芯科技主導光刻機研發，剛才的報告我也看了，華芯科技要求國家，在技術上對項目進行支持。 這是用國家的資源為他私人企業來謀利……” 倪廣南憋了一肚子的火，在這個場合下，他也不好拍桌子，耐著性子等到劉承志說完，才說道：“我是贊成的，至于為什么，我想大家都知道，研發光刻機的難度。 即便是舉國之力，也不一定研發出世界一流的光刻機，這明顯是燒錢的項目，只有蠢貨，才會想著從這里占國家的便宜！” 劉承志老臉一紅，投向倪廣南的目光有些怨恨。 “老不死的，你就是想著跟勞資作對是吧……” 接下來的發言大概支持和反對參半，或者反對多一些，畢竟很多人對華芯科技并不放心。 輪到蘇老時，他重重的將拐棍在地板上敲了兩下。 在這里，也就蘇老有這個譜，老魔童的威風可不是蓋的。 “我也聽出來了，大家剛才反對的理由無非是兩個，一個是害怕華芯科技占國家的便宜，而另外一個理由就是怕華芯科技干不好，怕他們承擔不起這個責任。” “我先說說第一個理由吧，劉總，你也是科院出來的，你沒看到華芯科技在學術研究上，投入了多少個課題，有幾個課題是能夠盈利的。 在坐的或多或少都有參與吧，我記得有幾個數學、物理上的基礎課題研究，華芯科技是無償支援的，我倒想問問劉總，你們幻想科技資助了幾個課題，又在這方面投入了多少資金……” 劉承志傻眼了，怎么蘇老一上來，就把炮口對準他。 “蘇老，這不是一回事，而且幻想科技也給科院上繳了不少利潤嘛，這也是支持科研啊！” “屁，那是應該的，科院是你們的大股東，你還想著不上繳利潤？” 劉承志被噎的一句話說不出，心里只盼著蘇老，您早點說完，早點結束，在這里，簡直活受罪。 蘇老懟了劉承志一頓，然后轉頭看向大家，繼續說道：“罷了，我再說一件事，你們聽了就知道，華芯科技會不會借這個項目斂財了。” “蘇老您說！” 蘇青森站了起來，長呼一口氣，說道：“華芯科技把國家退稅的近八個億拿了出來，再加上價值五十個億的華芯科技股份，用這筆錢成立了一個科技獎的基金，在做的各位，都有可能成為這筆基金的收益人……” “呼！” “五十八億！” “這是要干什么……” 蘇老瞄了一下全場，又繼續說道：“我可以負責任的擔保，華芯科技絕對不會從這個項目來斂財。” 燕京光學器材公司總經理卜向東搖搖頭，在他看來，讓自己這么一個大國企跟在一家私企后面混，面子上過不去。 見蘇老說完，忙跟著發言道：“可是蘇老，這也不能說明，華芯科技有這個能力，來擔負這么大的一個項目啊！” “沒有這個能力？”蘇青森搖搖頭。 “我不知道什么叫有能力，華芯科技開發的eda軟件，應該有不少人在用吧。 他們開發的操作系統肯定也有人見過。 小型機服務器，還有那處于世界頂尖水平的顯卡，你們也應該用過。 更不用說就快要發布的cpu……” 臺下竊竊細語。 “沒想到華芯科技開發出這么多重量級的產品，幾乎沒一項都填補了國內的空白，還有cpu，他們開發了cpu了嗎？性能怎樣？” “我只知道他們想開發cpu來著，難道他們的cpu出成品了？” 在場的有一大半并不知道這個事。 蘇青森看向劉承志，說道：“小劉，你說說吧，華芯科技的cpu，你最清楚了。” 所有人的目光投向劉承志，只見他站了起來，極不情愿的對眾人說道：“華芯科技確實生產出了cpu，而且性能，已經達到世界先進水平……” “吁！” 大國芯工 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機
“岸然，這事我必須當面和你說清楚，這七套設備雖然都是1.5微米制造工藝，不過其中有四臺，和其他的有些區別。” 王岸然一下來了興致。 “有什么不一樣？” “有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源，而另外四臺……” “張教授，你倒是說啊！” 張大京嘴角帶著笑，指著王岸然說道：“岸然，我一直以為你比別的年輕人沉得住氣，現在看來，只是沒找到你感興趣的東西啊！” 王岸然白了張大京一眼，說道：“張教授，你再不說，我可要翻臉了啊！” “好！好！”張大京搖搖頭，說道：“岸然，有四臺使用的是krf248納米準分子激光光源。” 額，王岸然感覺呼吸都有些急促，krf準分子激光光源有兩種波長，一種是248納米，另外一種就是193納米。 這跟高壓汞燈光源不一樣的是，高壓汞燈光源還屬于可見光，而krf準分子激光已經邁入紫外線的范疇。 雖然國內早已經開始了krf準分子激光的研究，而且取得了相應的成果，不過適用于光刻的248納米光源，要求的是百焦級別的高功率，以及粒子均勻性要在千分之零點三的范圍內。 門檻就在這里。 事實上，ibm早在1980年就將krf準分子激光光源用于半導體光刻，而十五年過后，對國內來說，還是一道深不可測的技術門檻。 沒想到，這玩意竟然被張大京搞來了…… 王黯然忙問道：“張教授，我記得激光光源是瓦森納協議中禁止貿易的，你怎么……？” “岸然，你錯了，瓦森納協議中限制出口的列表，今年沒有把248納米krf列入其中。 不過需要說明的是，這款激光器是不可以用作軍事用途的，所以，他們會派人監管，并定期檢查的。” 自己的消息還是滯后了啊！ 王岸然搖搖頭，如果248納米光刻機解除禁運的話，國外已經在193納米光刻機的應用上有了長足的進步，甚至在深紫光上有了突破。 原因很簡單，瓦森納協議的核心就是n2政策，西方審批出口的依據就是，對華出口的設備必須是落后兩代。 而實際上，審批程序很復雜，等真拿到設備的時候，差不多已經是第三代的了，基本上比起國際主流的技術要落后10年左右。 這也沒辦法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙問道：“張教授，這條芯片生產線，可以……” 張大京打斷王岸然的話，說道：“岸然，這是我另外要說的一件事，248納米激光光源光刻機，可以經過改造，用于1微米制程的芯片生產，不過，涉及一系列復雜的光學曝光技術，這些專利是要折算成資金入股的！” 這個王岸然沒有意見，如果能改造成沉浸式光刻機，320納米制程都沒問題。 張大京拿出一份文件遞給王岸然。 “股權結構？” 張大京點點頭。 王岸然翻開一看，愣住了。 7億美金只占了35的股份，張大京團隊以技術入股，占15的股份，張大京自領5的干股，后面跟著一大串投資人。 王岸然還看到了老伙計高盛，還有新加坡投資集團，灣島國際等，這么多家，一共才出資3億美元，加部分專利授權，占股45。 “岸然，你是知道的，拉高盛進來，也是為我們的設備審批能夠快一點，畢竟高盛在公關上還是有一套的。” 王岸然倒不是為高盛入伙頭疼，他是為華芯科技出了資金的大頭，占的股份確只有三分之一多一點。 唯一讓王岸然有些安慰的，就是自己仍然是這家公司最大的股東。 因為前面已經承諾，自己的股份，投票權已經交給張大京，而張大京的團隊加上張大京自己的有20的股份。 加在一起就是55的股份，完全可以讓張大京在新公司說話能算數。 可華芯科技也太虧了吧！ “可誰讓自己沒有技術呢！活該被宰。” 王岸然搖搖頭，這個時候想跟人家玩，不出點見面禮肯定是不行的。 “岸然，還有一點我需要明確一下，一是員工股票池，這是需要各股東按比例出的，現在暫定的是3 另外就是，這家公司最終是要上市！” 王岸然點點頭，張大京拉了這么多的資本進來，而資本是追求利潤的，不上市，怎么把股份套現…… “張教授，關于專利入股的事，我需要我的團隊評估一下各個專利的價值，其他的，我這邊沒有問題。對了，張教授，廠房定了沒有？” “還沒有，我們的人正在和港府協調，目前來看，還沒有找到合適的地皮。” 王岸然也沒說話，留著張大京去公關吧！ 等他碰壁了之后，他會知道，在大陸建廠也是一個不錯的選擇。 就在王岸然和張大京糾纏不清的時候，官方內部圍繞著“是不是由華芯科技來主導光刻機的開發。”展開了激烈的討論。 為此官方特別邀請了一眾科學家院士和高科技國企老總參與座談。 劉承志也是在這里才知道，華芯科技竟然將觸角伸到光刻機領域，還打報告給發改委高科技司，這要讓你做成了，以后國內的it/ic行業，還有幻想科技的一席之地？ “我反對讓華芯科技主導光刻機研發，剛才的報告我也看了，華芯科技要求國家，在技術上對項目進行支持。 這是用國家的資源為他私人企業來謀利……” 倪廣南憋了一肚子的火，在這個場合下，他也不好拍桌子，耐著性子等到劉承志說完，才說道：“我是贊成的，至于為什么，我想大家都知道，研發光刻機的難度。 即便是舉國之力，也不一定研發出世界一流的光刻機，這明顯是燒錢的項目，只有蠢貨，才會想著從這里占國家的便宜！” 劉承志老臉一紅，投向倪廣南的目光有些怨恨。 “老不死的，你就是想著跟勞資作對是吧……” 接下來的發言大概支持和反對參半，或者反對多一些，畢竟很多人對華芯科技并不放心。 輪到蘇老時，他重重的將拐棍在地板上敲了兩下。 在這里，也就蘇老有這個譜，老魔童的威風可不是蓋的。 “我也聽出來了，大家剛才反對的理由無非是兩個，一個是害怕華芯科技占國家的便宜，而另外一個理由就是怕華芯科技干不好，怕他們承擔不起這個責任。” “我先說說第一個理由吧，劉總，你也是科院出來的，你沒看到華芯科技在學術研究上，投入了多少個課題，有幾個課題是能夠盈利的。 在坐的或多或少都有參與吧，我記得有幾個數學、物理上的基礎課題研究，華芯科技是無償支援的，我倒想問問劉總，你們幻想科技資助了幾個課題，又在這方面投入了多少資金……” 劉承志傻眼了，怎么蘇老一上來，就把炮口對準他。 “蘇老，這不是一回事，而且幻想科技也給科院上繳了不少利潤嘛，這也是支持科研啊！” “屁，那是應該的，科院是你們的大股東，你還想著不上繳利潤？” 劉承志被噎的一句話說不出，心里只盼著蘇老，您早點說完，早點結束，在這里，簡直活受罪。 蘇老懟了劉承志一頓，然后轉頭看向大家，繼續說道：“罷了，我再說一件事，你們聽了就知道，華芯科技會不會借這個項目斂財了。” “蘇老您說！” 蘇青森站了起來，長呼一口氣，說道：“華芯科技把國家退稅的近八個億拿了出來，再加上價值五十個億的華芯科技股份，用這筆錢成立了一個科技獎的基金，在做的各位，都有可能成為這筆基金的收益人……” “呼！” “五十八億！” “這是要干什么……” 蘇老瞄了一下全場，又繼續說道：“我可以負責任的擔保，華芯科技絕對不會從這個項目來斂財。” 燕京光學器材公司總經理卜向東搖搖頭，在他看來，讓自己這么一個大國企跟在一家私企后面混，面子上過不去。 見蘇老說完，忙跟著發言道：“可是蘇老，這也不能說明，華芯科技有這個能力，來擔負這么大的一個項目啊！” “沒有這個能力？”蘇青森搖搖頭。 “我不知道什么叫有能力，華芯科技開發的eda軟件，應該有不少人在用吧。 他們開發的操作系統肯定也有人見過。 小型機服務器，還有那處于世界頂尖水平的顯卡，你們也應該用過。 更不用說就快要發布的cpu……” 臺下竊竊細語。 “沒想到華芯科技開發出這么多重量級的產品，幾乎沒一項都填補了國內的空白，還有cpu，他們開發了cpu了嗎？性能怎樣？” “我只知道他們想開發cpu來著，難道他們的cpu出成品了？” 在場的有一大半并不知道這個事。 蘇青森看向劉承志，說道：“小劉，你說說吧，華芯科技的cpu，你最清楚了。” 所有人的目光投向劉承志，只見他站了起來，極不情愿的對眾人說道：“華芯科技確實生產出了cpu，而且性能，已經達到世界先進水平……” “吁！” 大國芯工 第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機
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