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第170章 EUV光刻機?

更新時間:2022-08-14  作者:默然的冷灰
科技帝國從山寨系統開始 第170章 EUV光刻機?
因為我之前有過對90納米芯片使用的八英寸晶圓的改良經驗,所以提升晶圓的品質以及良品率交給我就行。”

聽到林軒的話語,現場許多人紛紛點頭表示認可。

確實,八英寸的晶圓相比六英寸的晶圓,最大的差別就是加工環節。

同一時間段里,使用八英寸晶圓生產芯片時能省下很多錢。

如果不計較成本的問題,六英寸的晶圓確實可以用,而且有林軒說過會提升晶圓的品質,這樣就更好了。

“所以接下來我們的任務,就是從晶圓切割之后的一系列生產制造問題”

隨著林軒的話語落地,現場的人們也再次點點頭表示知道。

隨后他們紛紛好奇地看著林軒,想看看林軒會怎么安排任務給他們。

不過此時的林軒卻沒有立馬安排任務,畢竟林軒對于現場許多人根本就不了解,怎么能安排任務呢?

所以需要林軒說了一下目前遇到的難題有什么?

他們這些人需要研發什么設備,然后才能根據他們的意愿以及他們擅長什么而安排任科研務。

“芯片的生產有著很多機器,但一些機器目前我們漢唐科技已經在采用一百五十納米的設備,這種設備改裝一下也能勉強夠用。”

“因為資金有限,所以我們的科研任務是放在絕對無法采購的核心設備,比如光刻機,刻蝕機,高能離子注入機,……”

頓了一下,林軒輕聲接著道:

“其中目前最難的就是光刻機以及刻蝕機,薄膜沉積設備,高能離子注入機。”

“薄膜沉積設備,島國那邊處于世界領先地位,此外我們還必須得攻克薄膜沉積設備使用的化學材料。

刻蝕機方面也是差不多的情況,目前最難的則是光刻機。”

但這時候有人開口說道:

“光刻機其實也不算難,光刻機說到底不過是設備精度與鏡頭還有掃描曝光系統的問題,在光源上我們的問題不大。

我們大夏有世界領先的激光晶體kbbf,大夏在激光領域也是處于世界領先層次。”

說話的是其中一名年輕的研究生。

大夏許多科技雖然在世人的眼中一直是落后的狀態,但其實在一些特殊的領域,特別是軍l事領域其實并不弱。

其實關于激光這東西大夏也早有研究,而且還有了自己的獨特成果,那就是激光使用的kbbf晶體!

這kbbf晶體可不簡單,大夏發明它后可以說立刻站在了世界激光領域的前沿。

其在二零零九年中斷kbbf晶體出售后,更是讓美迪國的激光研究被迫停止十五年!

直到十五年后,他們才研究出新的激光晶體替代大夏的kbbf晶體,重新開始激光的大規模研究。

所以大夏的激光技術實際上并不弱,無論是現在還是后世都處于世界領先一流層次。

其中大夏的激光產品銷售也是長期達到了全球市場的百分之五十,可以說這是少有的技術領先情況!

“不行,kbbf激光晶體造不了光刻機,kbbf晶體的激光太勐了,射出的激光(euv)極深紫外光太過鋒利。

一不小心就會損壞整個芯片無法使用,除非我們的控制精度與對準成像系統能達到讓人驚訝的程度,否則極深紫外光我們絕對無法使用。”

目前市面上的光刻機采用的是紫外光源,紫外光源分為紫外光(ev),深紫外光(duv),極紫外光(euv)。

其中光源越到后面波長就越短,光刻的刀也就越鋒利,對于精度的控制要求就越高。

所以目前世界上沒有光刻機采用極深紫外光(euv),作為光源制作光刻機。

畢竟以目前幾十納米的制程工藝,也不需要這樣高精密的光刻機,目前絕大部分光刻機還是使用紫外光(ev)。

只有最前沿的45納米制程工藝,才使用euv之前的深紫外光源,也既是duv光刻機。

至于更下一步euv光刻機,那目前更是沒有,之所以沒有,這是因為目前沒有這方面的需求。

當然真實原因是想研發這樣的euv光刻機需要的成本也太高,不下于從零開始設計研發,所以目前市面上并沒有這樣的euv光刻機出現。

“沒錯,光刻機可不容易制造,你可能是其他領域的,所以有些想當然了,光是鏡片就能把我們卡死。”

此時人群前排的一個博士,也說出了想造光刻機不容易。

在他看來光刻機最難的就是鏡頭部分。

光刻機需要的鏡面誤差十分之小,鏡面誤差不能大于零點零五微米。

這誤差的范圍用個形象的比喻,如果把鏡面誤差比喻成天涯海角島的話,那么整個天涯海角島的平整度誤差不能大于十毫米!

而最為恐怖的是這樣的鏡片不只是一個,因為鏡片這東西其實是有成像誤差的,這成像誤差在光刻生產環節的影響十分之嚴重。

因為偏差一點就會把整個芯片損壞,畢竟那可是幾十納米的大小,光照到了不該照的地方,最后制造成成品時肯定會短路!

所以為了解決成像誤差,光刻機就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。

這也是為什么很多昂貴的攝像機或相機的鏡頭,為什么會那么長。

原因其實和光刻機面臨的問題一樣,為了解決成像誤差的問題,所以相機鏡頭里面有著非常多的鏡片!

這些鏡片都是高精度鏡片,相互之間精度要求非常之高,所以會出現一個鏡頭會比相機還貴的現象。

而且別的不說,就說后世的手機鏡頭模塊里面,其實有著五到六片鏡片!

而光刻機自然比相機與手機鏡頭要求高,所以現在的光刻機隨著越來越深入幾十納米的層次。

要求越來越高,鏡片的數量也越來越多,目前的光刻機鏡片已經達到了十六到二十個鏡片。

此時的人們不知道的是,在后世能生產幾納米芯片的euv光刻機鏡片已經達到了二十九個!

這也是為什么林軒情愿花費一億資金,也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。

因為這些鏡片的要求太過嚴苛,為了那幾個專精于鏡面打磨的八級工,林軒也是舍得出一億的資金把他們買下來!

“我們還是讓林軒先生來決定到底怎么樣吧。”

人群的前排中,王院士看著隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們,他緩緩開口說著。

隨著王院士的開口,瞬間,現場陷入了寂靜。

隨后人們將視線看向了林軒這里,在上千雙眼睛的注視下,林軒也是緩緩開口道:

“關于光刻機的問題,我的決定是直接放棄深紫外光(duv)光刻機,直接研發極深紫外光(euv)光刻機!

而且euv光刻機還沒有太多公司進入這個領域,在這個領域中也沒有太多專利,正好方便我們自由發揮設,設計難度也大幅降低。”

聽到林軒的決定,現場頓時有博士搖頭不認同直接跳過euv光刻機,直接研發euv光刻機這點。

“林先生,雖然因為有kbbf晶體的原因,我們在光源上有優勢。

但鏡平還有成像定位系統可是一個難題,而且光刻機的零件性能要求十分之高,精度也十分之高,這種程度的要求我們能造得出來嗎?

我不是說設計的問題,而是我們有那個材料,有那個加工精度嗎?”

隨著那個發出質疑的博士話語,現場陷入了絕對的寂靜。

確實,國外為什么比我們先進,原因就是他們除了擁有豐富的工人隊伍。

也就是有著龐大的八級工九級工隊伍外,他們機器上的精度也十分驚人!

光刻機是一個涉及全領域的東西,uu看書它涉及光學,機械,材料,化學等等全方面的領域,被人稱呼為工業之花。

許多東西,大夏如果想設計的話也是可以設計出來,但能設計卻加工不出來啊!

雖然有八級工九級工的存在,但八級工與九級工能造幾個東西?

這個時候,看著陷入沉默的人們,何秘書也是適時的發話道:

“加工精度上不用擔心,因為我們相比“兩旦一星”的艱難時期已經有了很大的變化!

雖然我們機器的加工精度不行,但我大夏有著龐大的工人隊伍!”

說到這里的何秘書笑著說道:

“這次上面為了攻克45納米制程工藝也是下狠了心,某位老人還特別發話無論要什么都全力支持,無論是軍或民都要全力配合。

所以無論是國l營廠還是軍公廠,只要你能設計出來并且你們支付了委托費用,那我都會幫你們打通環節,就算用手工硬堆,也要堆出你的零件!

此外材料問題也不用擔心,這次上面也是下狠了心,為了我大夏能將半導體制程工藝推進到45納米分層次。

只要漢唐科技給錢,某些辛苦收集來的戰略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用,所以材料問題你們不用擔心。

只要我們有的我們就立馬給你,我們沒有的,我們會想方設法地弄給你們!”

聽到陳秘書的發言,現場陷入了絕對的寂靜!

所有人的眼中都露出了驚駭的眼神,沒有想到上面竟然如此重視!

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